伴隨著科技的發(fā)展,現(xiàn)在干式真空泵也在各行各業(yè)有很廣泛的作用,而且干式真空泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,維修起來(lái)也很方便,所以受到了很多行業(yè)的喜愛,那么它的應(yīng)用領(lǐng)域都有哪些呢?下面就給大家介紹一下。
一、低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中
因?yàn)镠CI等極易溶解于水,所以如果用傳統(tǒng)的真空泵將無(wú)法很好地回收和分離反應(yīng)的尾氣,更嚴(yán)重的是,HCI溶解于水之后是強(qiáng)酸,能快速溶解腐蝕金屬的容器和器材,嚴(yán)重減低設(shè)備的使用期限,加大生產(chǎn)的成本,增加設(shè)備的生產(chǎn)周期。而應(yīng)用了干式真空泵之后,因?yàn)楦墒秸婵毡貌恍枰?,所以就很好地解決了HCI溶解于水而腐蝕設(shè)各地問題,從而減低了生產(chǎn)成本,提升了生產(chǎn)效率。
二、半導(dǎo)體刻蝕工藝
在半導(dǎo)體刻蝕工藝中,雖然加熱到393k的高溫干燥,但是其水分還會(huì)留在空氣中,也會(huì)影響刻蝕工藝的效果,所以需要在真全環(huán)境下進(jìn)行,而傳統(tǒng)的真空泵有不可避免地引入了油和部分水,因此這個(gè)真空環(huán)境的創(chuàng)造最好的選擇就是用干式真空泵進(jìn)行抽氣。
三、電子和半導(dǎo)體行業(yè)
在造紙工業(yè)用真空泵進(jìn)行脫水又是真空泵用途的一個(gè)重要的運(yùn)用。而且廠家也可以在紙張生產(chǎn)和印刷過(guò)程中提供最合適的真空解決方案。
四、電力變壓器和真空領(lǐng)域
部件或在組裝和繞組接線之后的整個(gè)內(nèi)定子,在真空狀態(tài)下浸漬絕緣漆成為整體的絕緣處理工藝。電力變壓器的真空干燥、變壓器的真空注油、環(huán)氧樹脂澆注干式變壓器、電抗器、互感器、高壓開關(guān)絕緣子的生產(chǎn),還可以用于需要環(huán)氧樹脂包封的電力、電子元件的真空澆注成型。
五、食品包裝行業(yè)
吸塑成型和塑料擠出機(jī)除氣,在塑料生產(chǎn)過(guò)程中,熱塑型塑料在擠出機(jī)內(nèi)熔化,并在螺桿擠出部分進(jìn)行除氣,將熔化物中的氣體和蒸氣排出,以獲得理想的熱塑性塑料設(shè)備,具有更高的強(qiáng)度和更加好的絕緣性能。氯乙烯氣體的抽取和壓縮,在PVC生產(chǎn)過(guò)程中,氯乙烯氣體在自動(dòng)高壓反應(yīng)釜的壓力下得到聚合,形成聚合PVC。同時(shí)所產(chǎn)生的氣體被抽出、壓縮和液化。
六、醫(yī)藥化工領(lǐng)域
現(xiàn)在中國(guó)的醫(yī)藥化工行業(yè)排污非常嚴(yán)重,一些含有貴重原料的溶液,由于回收困難,往往被當(dāng)成廢料排泄,這不僅造成了極大的污染,破壞環(huán)境,還使原料浪費(fèi),也大大增加了資源的消耗,對(duì)長(zhǎng)期的發(fā)展起了阻礙作用。而干式真空泵由于不會(huì)引入水和油等雜質(zhì),所以可以很好地制造真空環(huán)境,讓含有原料的化工醫(yī)藥原料分離的同時(shí)不會(huì)降低甚至可以幫助提純?cè)希瑥亩_(dá)到回收原料,降低成本的效果。
伴隨著科技的發(fā)展,一些工藝對(duì)清潔度的要求也是越來(lái)越高的。針對(duì)于無(wú)油的干式泵來(lái)講,在二十~30年前就有過(guò)專門的設(shè)計(jì),主要是針對(duì)于發(fā)展核工業(yè)的需求提出的。實(shí)際上作為干式泵直接向大氣中排氣,泵腔內(nèi)不得用任何液體來(lái)密封其內(nèi)漏,并且泵的壓縮比要高達(dá)106,能設(shè)計(jì)出一種新的抽氣工作原理的干式泵確實(shí)是一件不容易的事,就現(xiàn)階段看來(lái),所有的干式真空泵質(zhì)量還是很好的。