在真空泵中真空泵油不僅作為獲得真空的介質(zhì)，而且還對機(jī)械摩擦點起潤滑，冷卻和密封作用。

 1、極低的蒸汽壓這是真空泵油的最重要性能，由于真空泵要求真空度達(dá)到1.33×10－4Pa（10－6mmHg），高的要求達(dá)到1.33×10－4Pa（10－6mmHg）以下，因此要求真空泵油的蒸發(fā)性極低．一般要用石蠟基窄餾分潤滑油，對于擴(kuò)散真空泵，還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。

 2、合適的粘度良好的粘溫特性真空系統(tǒng)利用泵腔內(nèi)容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應(yīng)具有合適的粘度和良好的粘溫特性。

 3、良好的熱氧化安定性真空泵不斷向高速度發(fā)展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，因此使油的熱和氧化作用加劇。而擴(kuò)散泵往往處于很高的環(huán)境溫度下工作，使系統(tǒng)內(nèi)蒸氣壓升高，真空度降低，因此要求真空泵油有良好的熱氧化安定性。

 4、良好的抗腐蝕性與抗乳化性。真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會腐蝕泵內(nèi)金屬零件與油發(fā)生化學(xué)變化。另外，吸入空氣中往往含有水汽，引起真空泵油的乳化，故要求有良好的抗腐蝕性與抗乳化性。在真空脫水工藝使用的真空泵油的乳化更為突出。

 5、較高的閃點要求真空泵中不攜帶輕質(zhì)組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。

 6、較低的極限壓力極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標(biāo)以了解在最低真空極限壓力下真空泵的極限壓力。