干式螺桿式真空泵是一種工作容積作回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的容積式機(jī)械真空泵。氣體的壓縮依靠容積的變化來(lái)實(shí)現(xiàn)，螺桿泵的一對(duì)轉(zhuǎn)子在機(jī)殼內(nèi)作回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)來(lái)達(dá)到容積的變化。其工作容積在周期性擴(kuò)大和縮小的同時(shí)，空間位置也隨之變更。干式螺桿真空泵，是利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正，由軸承支撐安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，泵工作時(shí)，相互之間無(wú)磨擦，轉(zhuǎn)動(dòng)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油，因此干式螺桿式真空泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)省能源，免維修等優(yōu)勢(shì)。下面就看一下使用的流程吧。

　　一、日常檢查。

　　檢查干式螺桿真空泵是不是安裝橫平豎直。地腳螺釘是不是擰緊。電動(dòng)機(jī)連接線(xiàn)是不是接駁正常。電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)向是不是正常，如果反向轉(zhuǎn)動(dòng)的話(huà)，應(yīng)馬上改正。進(jìn)氣管道、排氣管道是不是密封。冷卻水管道是不是接好、漏水，消音器是不是安裝好，進(jìn)氣口閥門(mén)是不是安裝好。然后觀察泵轉(zhuǎn)動(dòng)方向是不是和泵上所標(biāo)識(shí)的是不是一樣，如果不一樣，馬上改正。每次運(yùn)行螺桿真空泵，都須使泵先空運(yùn)行一小段時(shí)間，將泵內(nèi)和消音器內(nèi)的液體排出，直到排氣口。無(wú)液體排出，為泵正常運(yùn)行作準(zhǔn)備。打開(kāi)冷卻水閥門(mén)。

　　二、運(yùn)行和轉(zhuǎn)動(dòng)。

　　打開(kāi)干式螺桿真空泵進(jìn)氣閥門(mén)和關(guān)閉進(jìn)氣口。應(yīng)觀察轉(zhuǎn)動(dòng)中的各項(xiàng)數(shù)據(jù)是否正常，對(duì)泵保護(hù)有很重要。由于干泵的特殊構(gòu)造，其轉(zhuǎn)動(dòng)以后的電流和機(jī)械泵、羅茨泵等不一樣。干式螺桿式真空泵在極限壓力情況下，電流會(huì)變大，是屬于正常情況。在同大氣情況下會(huì)小，也是屬正常情況，

　　三、使用后停機(jī)檢查。

　　當(dāng)干式螺桿真空泵使用后，應(yīng)關(guān)閉進(jìn)氣口閥門(mén)。打開(kāi)排氣口閥門(mén)，應(yīng)切斷泵電動(dòng)機(jī)電源。在溫度低的時(shí)候，要放盡泵內(nèi)的冷卻水，以免在冬季或在寒冷的環(huán)境，泵內(nèi)的水凍壞泵體，致干式螺桿真空泵不能運(yùn)行。

　　伴隨著國(guó)內(nèi)工業(yè)界的發(fā)展趨勢(shì)，在半導(dǎo)體工業(yè)、液晶顯示屏等工藝生產(chǎn)制造中，對(duì)清潔真空環(huán)境的需求變得越來(lái)越高，而一般的有油真空泵現(xiàn)已達(dá)不到這樣的需求了。干式螺桿真空泵以其抽速范圍寬、構(gòu)造簡(jiǎn)單緊密、抽氣腔元件無(wú)摩擦、使用壽命長(zhǎng)、能耗低、無(wú)油污染等優(yōu)勢(shì)，獲得越來(lái)越多生產(chǎn)制造和應(yīng)用企業(yè)的重視，在干式真空