2020年12月10日，普發(fā)真空推出全新HiPace 350 和 450 渦輪分子泵，該產(chǎn)品特別適用于質(zhì)譜分析、電子顯微術、測量技術、粒子加速和等離子體物理方面的應用。新產(chǎn)品的應用領域十分廣泛，除了用于分析、真空工藝和半導體技術外，還可用于真空鍍膜、研發(fā)以及工業(yè)領域。

2020年5月14日，愛德華真空發(fā)布EDWARDS渦輪分子泵nEXT 730 & 930新品。該新品有更高抽速（氮氣）——730l/s、925l/s；可360°任意角度安裝；TIC控制器可同時控制分子泵和三路真空規(guī)管；維護間隔長，用戶可自主維護；設計靈活等特點。

除了這2個品牌，安捷倫也發(fā)布了全新一代渦輪分子泵，稱該全新產(chǎn)品具有高性能、高可靠性的同時，還能做到更經(jīng)濟。好凱德新推出的一款渦輪分子泵機組，是專為半導體行業(yè)設計的。

這些知名真空泵品牌為何花大量時間在渦輪分子泵的新品設計和生產(chǎn)中呢？渦輪分子泵市場又有哪些新發(fā)展？

渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動而抽氣的真空泵。其優(yōu)點是啟動快，能抗各種射線的照射，耐大氣沖擊，無氣體存儲和解吸效應，無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。好凱德渦輪分子泵還具有較高的性價比和靈活的安裝方式，高抽速不受高負荷或雜質(zhì)氣體侵入影響。

渦輪分子泵主要應用在半導體、光學、鍍膜和變壓器領域；同時也廣泛應用于核物理、電真空和表面科學等領域。半導體領域中，分子泵在真空鍍膜裝置上應用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。

由于半導體行業(yè)發(fā)展迅速，分子泵的市場拓展速度很快。

在國外，分子泵在半導體領域里的許多工藝場合是用來替代低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置中，用復合分子泵和牽引泵作為主泵。

隨著我國半導體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開發(fā)各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足半導體等不同領域的個性化需求。

國外品牌已先一步推出新品分子泵以適應快速發(fā)展的半導體行業(yè)，相信很快國內(nèi)真空泵品牌也會有新突破。